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光氧催化废气处理设备主要利用 的 高臭氧UV紫外线光束照射废气，裂解工业废气分子链结构，使无机高分子恶臭化合物的分子链在 紫外线的光束的照射下降解转变成低分子化合物，如CO2和H2O等。利用 高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子及水分子产生游离氧(活性氧)和OH自由基，因游离氧和所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。
催化剂还具有类似于植物光合作用，对废气进行净化的目的。通过特定波长光线照射，生成电子空穴对，使光催化剂与周围的H2O分子O2分子发生作用，结合生成氢氧自由基OH，通过氢氧自由基层层锁住空气中各种有害成分，分解有害分子结构构造，抑制生长和病毒的活性能力，从而达到空气净化、除臭、防霉污染的目的。工业废气利用排风设备输入到本净化设备后，净化设备运用 UV紫外线光束及臭氧对工业废气进行协同分解氧化反应，使工业废气降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过排烟管道排出室外。利用 UV光束裂解工业废气中的分子键，再通过臭氧进行氧化反应， 达到净化及杀灭的目的。从净化空气效率考虑，我们选择了C波段紫外线和臭氧结合高电晕电流装置，采用脉冲电晕吸附技术相结合的原理对有害气体进行清理，其中C波段紫外线主要用来去除气体，使物转变为无机物。众所周知臭氧具有极强的氧化作用，对工业废气及其它刺激性异味有立竿见影的结果。另外通过添加 催化剂：根据不同的废气成分配置27种以上相对应的惰性催化剂，催化剂采用蜂窝状金属网孔作为载体，与光源接触，惰性催化剂在338光源以下发生催化反应，放大10-30倍光源，使其与废气进行反应，缩短废气与光源接触时间，从而提高废气净化效率。
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